真空計(jì)是測(cè)量真空系統(tǒng)中氣體壓強(qiáng)的儀器,種類很多,這里介紹的復(fù)合真空計(jì)是常見(jiàn)的一種,復(fù)合真空計(jì)是由溫差電偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組合而成。下面給大家簡(jiǎn)單介紹下各類各類真空計(jì)原理。

 一、溫差電偶真空計(jì)的原理，溫差電偶真空規(guī)管由玻璃制成,通過(guò)小管8和真空系統(tǒng)相接,如圖2所示,在規(guī)管內(nèi)的兩根引線上裝有熱絲3,另外兩根引線上焊著一對(duì)溫差電偶4,溫差電偶的另一端與熱絲在A點(diǎn)焊接。由于在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比,所以在通過(guò)熱絲的電流(90～150mA)一定的條件下,熱絲的溫度隨著規(guī)管內(nèi)真空度的提高而升高,溫差電偶電動(dòng)勢(shì)也就隨之而增大。因此,通過(guò)測(cè)量溫差電偶電動(dòng)勢(shì),就可確定出被測(cè)系統(tǒng)的真空度,溫差電偶真空計(jì)就是根據(jù)這個(gè)原理制成的。

 二、熱陰極電離真空計(jì)的原理:電離真空規(guī)管就是一只三極管,通過(guò)B管與真空系統(tǒng)相接,使用時(shí),在燈絲電路中通以電流5mA,燈絲受熱后便發(fā)射電子,由于柵極為正電壓,使電子加速,中途與氣體分子相碰,氣體的密度越大,碰撞機(jī)會(huì)越大,產(chǎn)生的正離子也越多。另外,由于板極電壓為負(fù),便吸引正離子在板極電路中形成板極電流Ip,氣體分子密度越大(即壓強(qiáng)越大),板極電流也越大,反之就小。所以,通過(guò)測(cè)量板極電流便可以確定氣體的壓強(qiáng),熱陰極電離真空計(jì)就是根據(jù)這個(gè)原理制成的。

 三 、復(fù)合真空計(jì)的使用,復(fù)合真空計(jì)由上述兩種真空計(jì)組合而成,現(xiàn)在常用的型號(hào)有K型和FZH型,使用方法基本相同?，F(xiàn)就WZK-1A型介紹如下。如圖4所示是K-1A型的板面圖,K1為電流總開(kāi)關(guān),開(kāi)關(guān)K3、K4及電位器W5和電表CB2屬于溫差電偶真空計(jì)部分,其余均屬于熱陰極電離真空計(jì)部分,溫差電偶真空規(guī)管和電離真空規(guī)管已經(jīng)焊接在真空系統(tǒng)上,測(cè)量時(shí),各用一根電纜線與復(fù)合真空計(jì)相接,在使用前或停止使用時(shí),應(yīng)該使面板上的所有開(kāi)關(guān)都處于關(guān)閉狀態(tài).

  

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